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场发射扫描电镜(SEM)

预约须知:
1、为保证服务质量,请扫码加灯塔客服为您分配技术团队,该项目平均周期3-5个工作日,具体周期请咨询相应实验工程师。
2.、粉末、液体、薄膜、块体均可。粉末5mg以上,块体样品直径≤1cm(大于1cm视情况而定,具体请咨询科研顾问)厚度<1cm;
3、 混凝土,珊瑚沙,气凝胶,水凝胶等样品需要咨询相应科研顾问再下单;
4、 需要脆断的样品,尺寸需要≥1*2cm,厚度<0.5cm,较厚的样品建议尺寸准备大些;
5、导电性不好建议选择喷金,喷金能增加导电性使结果更清晰,如果样品由于您要求不喷金而导致效果不好,测试老师安排复测要重新计费;

下载测试单

 

仪器详情

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  • 1、仪器名称:(扫描电子显微镜)
  • 2、仪器型号:电镜型号日立SU8010、蔡司MERLIN Compact、蔡司sigma300EDS型号ixrf、EDAX等
  • 3、仪器用途:扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。

 

测试结果示例

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1、SEM 形貌的测试参数解读如下图所示:

 

 

 

 

 

 

2、    SEM-EDS能谱测试参数解读如图所示:

点扫

线扫

面扫

 

 

 

 

 

 

 

 

 

常见测试问题

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1,不导电或导电差的样品,为什么要喷金?

SEM成像,是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。如样品不导电或导电性不好,会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging),最终影响电子信号的传递,造成图像扭曲,变形、晃动等现象,喷金后样品表面导电增强,从而避免积电现象

2,喷金后,对样品形貌是否有影响?

样品表面喷金后,只是在其表面覆盖了几个到十几个金原子层,厚度只有几个纳米到十几个纳米而已,对于看形貌来说,影响是非常小的。

3,一个样品会提供几张图片?

每样品提供8-12张左右,具体根据样品的拍摄情况而定

4,SEM的能谱和XPS测试深度有何区别

XPS的采样深度为5-10nm,EDS的采样深度大约为1um。

5,标尺和放大倍数的关系

标尺数值和放大倍数没有必然联系!

6,注意事项:电镜拍摄由于其特殊性,拍摄老师会尽力拍摄,但没法保证一定会拍到您预期效果的图片,尤其磁性样品或者导电性差样品,请理解!扫描电镜放大倍数可达5-10万倍,最高30万倍,具体放大倍数与仪器型号有关。

 

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