主要项目：

支持磁性/非磁性样品；最高30万倍；可做EDS点、线、面分析等

主要项目：

磁性/非磁性样品；配备能谱仪，可做EDS点、线、面分析；电子衍射SAED；双喷、离子减薄、Fib切样均可等

主要项目：

二维显微形貌观察，三维立体形貌，选区电子衍射，能谱仪点、线、面、体分布分析，得到原子分辨率的元素面分布图像等

主要项目：

2D/3D粗糙度(形貌)/C-AFM(电学)/PFM(压电)/MFM(磁学)/QNM(力学)等性能等

主要项目：

2D/3D粗糙度(横向、纵向、整体)

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