球差校正透射电子电镜

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仪器详情

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• 1、仪器名称：球差校正透射电子显微镜
• 2、仪器型号：FEI Theims Z，Titan Cubed Themis G2300等
• 3、仪器用途：A、形貌观察：对各种材料内部微结构进行二维显微形貌观察，包括常见的粉末、纳米颗粒形貌和粒径观察；配合三维重构可以得到三维立体形貌；B、结构分析：利用选区电子衍射、高分辨透射图像、高分辨扫描透射图像等分析材料的结构C、成分分析：配合能谱仪可以对样品元素做点、线、面、体分布分析，可以得到原子分辨率的元素面分布图像

测试结果示例

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常见测试问题

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1. 样品为什么会积碳，积碳有什么影响？

答：样品中有机物的影响，制备过程含有机物，或者样品吸附空气中污染物；积碳会影响STEM模式的拍摄效果，让视野模糊不清。

2. 有什么方法可以改善积碳带来的影响？是否一定有用？

答：等离子清洗制好样的载网，但有洗坏样品的风险，可以会导致负载颗粒脱落等风险；电子束辐照样品一段时间，理论上会有改善，但是实际不一定会有明显效果。

3. 我要拍的单原子，为什么整片区域都是很亮的，看不清单个的？

答：样品太厚，或者负载量太大等。

4. 为什么拍不到原子分辨率的mapping和eels？

答：原子相要求样品很薄，样品薄的话能谱信号和eels号会比较弱，不利于收集信号。那就要求样品很薄，很稳定，能长时间收集信号，且要求原子序数都比较大的。一般样品很难同时符合这几个要求。

5. 拍球差的样品为什么要很薄？

答：薄的样品可以减少电子在样品中的弹射次数，分辨率就会比较高。

6. 样品很厚是不是制样没超声好？

答：球差一般是拍样品边缘几个nm的区域，所以对于原子相样品团聚不会影响到拍摄效果，但样品本身很厚就会有影响，这个与超声分散的效果没有关系，与样品本身的厚薄有关。